| Nome del prodotto: | Sistema di misura dell'interferometro laser SJ6000 | Campo di misura lineare: | 0~80m |
|---|---|---|---|
| Risoluzione: | 1 nm | Accuratezza di frequenza del laser: | 0.05ppm |
| Temperatura operativa:: | ℃ (di 0-40) | Tasso dinamico di bloccaggio:: | 50KHz |
| Evidenziare: | sistema di misura dell'interferometro laser 0.05ppm,sistema di misura dell'interferometro laser 1nm,interferometro di misurazione di spostamento 1nm |
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L'interferometria laser è riconosciuta come un metodo di misurazione ad alta precisione e alta sensibilità che utilizza la lunghezza d'onda della luce come criterio, ampiamente utilizzata nella produzione di fascia alta. Il sistema di interferometro laser SJ6000 incorpora un generatore laser ad elio-neon ad alta frequenza di un fornitore statunitense, moduli di compensazione ambientale ad alta precisione, elaborazione avanzata del segnale di interferenza laser e un sistema di controllo computerizzato ad alte prestazioni.
Utilizzando la tecnologia di stabilizzazione della frequenza termica con modalità duale longitudinale laser e la progettazione di un percorso ottico di interferenza con parametri geometrici, l'SJ6000 fornisce un output laser stabile a lungo termine e ad alta precisione (0,05 ppm) entro circa 6 minuti, con potenti prestazioni anti-interferenza. Con vari moduli prismatici, misura linearità, angolo, rettilineità, planarità, perpendicolarità e analizza le caratteristiche dinamiche.
| Parametri di sistema | Sensori ambientali |
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Metodo di misurazione: Singola frequenza Precisione della frequenza laser: 0,05 ppm Frequenza di acquisizione dinamica: 50 kHz Tempo di riscaldamento: ~6 minuti Temperatura operativa: 0-40°C Ambiente: 0-40°C, 0-95% di umidità Temperatura di stoccaggio: da -20°C a 70°C |
Temperatura atmosferica: ±0,1°C (0-40°C), risoluzione 0,01°C Temperatura del materiale: ±0,1°C (0-40°C), risoluzione 0,01°C Umidità atmosferica: ±5% (0-95%) Pressione atmosferica: ±0,1 kPa (65-115 kPa) |
| Misurazione lineare | Misurazione angolare |
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Intervallo di misurazione: 0-80 m Precisione di misurazione: 0,5 ppm (0-40°C) Risoluzione: 1 nm Velocità massima: 4 m/s |
Intervallo assiale: 0-15 m Intervallo di misurazione: ±10° Precisione: ±(0,02%R+0,1+0,24M)″ Risoluzione: 0,1″ R = valore indicato (″), M = lunghezza misurata (m)
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| Misurazione di planarità | |
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| Intervallo assiale: 0-15 m | Intervallo di misurazione: ±1,5 mm |
| Precisione: ±(0,2%R+0,02M²) μm | Risoluzione: 0,1 μm |
| Dimensioni substrato: 180 mm regolabile, 360 mm regolabile | |
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R = valore indicato (μm), M = lunghezza misurata (m)
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| Misurazione di rettilineità | Rettilineità corta | Rettilineità lunga |
|---|---|---|
| Intervallo asse | 0,1-4 m | 1-20 m |
| Intervallo di misurazione | ±3,0 mm | ±3,0 mm |
| Precisione | ±(0,5+0,25%R+0,15M²) μm | ±(5,0+2,5%R+0,015M²) μm |
| Risoluzione | 0,01 μm | 0,01 μm |
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R = valore indicato (μm), M = lunghezza misurata (m)
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| Misurazione di perpendicolarità | Rettilineità corta | Rettilineità lunga |
|---|---|---|
| Intervallo asse | 0,1-3 m | 1-15 m |
| Intervallo di misurazione | ±3,0 mm | ±3,0 mm |
| Precisione | ±(2,5+0,25%R+0,8M) μm/m | ±(2,5+2,5%R+0,08M) μm/m |
| Risoluzione | 0,01 μm | 0,01 μm |
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R = valore indicato (μm), M = lunghezza misurata (m)
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