| Nome del prodotto: | Sistema di misura dell'interferometro laser SJ6000 | Campo di misura lineare: | 0~80m |
|---|---|---|---|
| Risoluzione: | 1 nm | Accuratezza di frequenza del laser: | 0.05ppm |
| Temperatura operativa:: | ℃ (di 0-40) | Tasso dinamico di bloccaggio:: | 50KHz |
| Evidenziare: | Interferometro laser a frequenza unica,strumenti di misura 0.05ppm,strumenti di misura di risoluzione 1nm |
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L'interferometro laser è riconosciuto come un metodo di misurazione ad alta precisione e sensibilità che utilizza la lunghezza d'onda della luce come criterio, ampiamente utilizzato nei settori della produzione di fascia alta. Il sistema interferometro laser SJ6000 incorpora un generatore laser elio-neon ad alta frequenza di un fornitore statunitense, moduli di compensazione ambientale ad alta precisione, elaborazione avanzata del segnale di interferenza laser e un sistema di controllo computerizzato ad alte prestazioni.
Utilizzando la tecnologia di stabilizzazione della frequenza termica della modalità laser a doppia longitudinale e il design del percorso ottico di interferenza dei parametri geometrici, l'SJ6000 fornisce un'uscita laser stabile a lungo termine e ad alta precisione (0,05 ppm) rapidamente (circa 6 minuti) con potenti prestazioni anti-interferenza. Con diversi moduli prismatici, può misurare linearità, angolo, rettilineità, planarità, perpendicolarità e analizzare le caratteristiche dinamiche.
| Parametro | Specifica |
|---|---|
| Metodo di misurazione | Singola frequenza |
| Precisione della frequenza laser | 0,05 ppm |
| Velocità di acquisizione dinamica | 50kHz |
| Tempo di riscaldamento | Circa 6 minuti |
| Temperatura operativa | (0-40) ℃ |
| Condizioni ambientali | Temperatura: (0-40)℃, Umidità: 0-95% |
| Temperatura di conservazione | Da -20 ℃ a 70 ℃ |
| Tipo di sensore | Specifica |
|---|---|
| Sensore di temperatura atmosferica | ±0,1℃ (0-40)℃, risoluzione: 0,01℃ |
| Sensore di temperatura del materiale | ±0,1℃ (0-40)℃, risoluzione: 0,01℃ |
| Sensore di umidità atmosferica | ±5% (0-95%) |
| Sensore di pressione atmosferica | ±0,1kPa (65-115)kPa |
| Parametro | Specifica |
|---|---|
| Campo di misura | (0-80)m |
| Precisione di misurazione | 0,5 ppm (0-40) ℃ |
| Risoluzione di misura | 1 nm |
| Velocità di misurazione massima | 4 m/s |
| Parametro | Specifica |
|---|---|
| Gamma assiale | (0-15)m |
| Campo di misura | ±10° |
| Precisione | ±(0,02%R+0,1+0,24M)″ (R indica il valore, unità: ″; M è la lunghezza misurata in m) |
| Risoluzione di misura | 0,1" |
| Parametro | Specifica |
|---|---|
| Gamma assiale | (0-15)m |
| Campo di misura della planarità | ±1,5 mm |
| Precisione | ±(0,2%R+0,02M²)μm (R indica il valore in μm; M è la lunghezza misurata in m) |
| Dimensione del substrato | Regolabile 180 mm, regolabile 360 mm |
| Risoluzione di misura | 0,1μm |
| Tipo | Intervallo dell'asse | Campo di misura | Precisione | Risoluzione |
|---|---|---|---|---|
| Breve rettilineità | (0,1-4)m | ±3,0 mm | ±(0,5+0,25%R+0,15M²)μm | 0,01μm |
| Lunga rettilineità | (1-20)m | ±3,0 mm | ±(5,0+2,5%R+0,015M²)μm | 0,01μm |
| Tipo | Intervallo dell'asse | Campo di misura | Precisione | Risoluzione |
|---|---|---|---|---|
| Breve rettilineità | (0,1-3)m | ±3,0 mm | ±(2,5+0,25%R+0,8M)μm/m | 0,01μm |
| Lunga rettilineità | (1-15)m | ±3,0 mm | ±(2,5+2,5%R+0,08M)μm/m | 0,01μm |