Sistema di misurazione visiva CNC serie HP per l'ispezione di precisione a livello di micron di componenti semiconduttori

HP: alta precisione (alta precisione)

Le caratteristiche principali della macchina a portale fisso sono l'elevata precisione e la completa automazione. "HP" in questo contesto si riferisce alla macchina a portale come a uno "strumento di ispezione ottica di precisione automatica senza contatto a livello di micron". Aiuta a migliorare la precisione complessiva della produzione e la produttività per i clienti.

• Viene adottata l'intera struttura del ponte mobile a telaio chiuso, il pezzo di misurazione è fisso, la capacità portante è ampia e le prestazioni di movimento sono buone.
• Introdurre la tecnologia di analisi degli elementi finiti nella progettazione meccanica per garantire elevata rigidità e struttura meccanica ad alta precisione.
• Base in granito di grado 000, elevata resistenza, resistenza alla corrosione e buona stabilità.
• Piano di lavoro per il trattamento superficiale dell'ossido di alluminio, controllo dell'azione rapido e flessibile, durevole e bello.

• Righello a reticolo aperto RENISHAW, risoluzione 0,5um, alta precisione e buona stabilità.
• La guida lineare di precisione, la vite a ricircolo di sfere della smerigliatrice e il servomotore CA garantiscono la stabilità della precisione di posizionamento del sistema della macchina.
• La fotocamera digitale Giga a colori ad alta definizione da 2 M pixel soddisfa i requisiti di osservazione chiara e misurazione stabile.
• Obiettivo ottico ad alta definizione 6,5x, zoom automatico accurato, calibrazione rapida dei pixel.
• Sorgente luminosa di superficie LED programmabile a 5 anelli e 8 zone, sistema di sorgenti luminose di contorno LED parallele a trasmissione, regolazione intelligente della luminosità a 256 livelli.
• Controllo CNC dell'asse completo, servomotore AC ad anello chiuso completo.

Lo strumento di misurazione della visione di tipo a portale di grandi dimensioni della serie HE può essere dotato di una varietà di sensori 3D per misurazioni composite 2D / 3D complete. Può anche essere dotato di sensori senza contatto come sonda e laser. Supporta inoltre la serie completa di staffe per sonde RENSHAW, in modo che gli utenti possano completare la trasformazione automatica della misurazione a scala reale su un unico dispositivo, migliorando notevolmente la produttività.